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    平面研磨機·平面拋光機·雙面研磨機·研磨拋光耗材及配件

    鏡面拋光案例

    硅片鏡面拋光

    時間: 2018-06-21 分類: 鏡面拋光案例 瀏覽次數: 110
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    硅片鏡面拋光

     以硅單晶錠為原料,經切片、磨片、拋光等加工工序,生產符合半導體器件要求的硅單晶片的硅...硅片拋光通常采用二氧化硅膠體拋光。這是一種化學機械拋光法??梢垣@得基本無損傷層的拋光鏡面,滿足制作大規模和超大規模集成電路的要求。

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